TEM Sample holding device and sample manufacturing method therefor

본 발명은 회전형 TEM 시료 부착장치 및 그를 이용한 시료 가공방법에 관한 것이다. 본 발명의 회전형 TEM 시료 부착장치는 장치 본체; 상기 장치 본체의 일측에 마련되되 그리드와 시편이 탑재되는 탑재부; 상기 탑재부에 착탈 가능하게 결합하되 상기 탑재부에 상기 그리드와 상기 시편을 탄성적으로 고정하는 탄성 고정부; 상기 탄성 고정부를 상기 장치 본체에 체결하는 체결부재; 및 상기 장치 본체의 일측에 형성되며, 상기 장치 본체의 회전축심을 형성하는 회전 샤프트를 포함한다....

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Main Author KIM JAI DONG
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 25.02.2020
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:본 발명은 회전형 TEM 시료 부착장치 및 그를 이용한 시료 가공방법에 관한 것이다. 본 발명의 회전형 TEM 시료 부착장치는 장치 본체; 상기 장치 본체의 일측에 마련되되 그리드와 시편이 탑재되는 탑재부; 상기 탑재부에 착탈 가능하게 결합하되 상기 탑재부에 상기 그리드와 상기 시편을 탄성적으로 고정하는 탄성 고정부; 상기 탄성 고정부를 상기 장치 본체에 체결하는 체결부재; 및 상기 장치 본체의 일측에 형성되며, 상기 장치 본체의 회전축심을 형성하는 회전 샤프트를 포함한다.
Bibliography:Application Number: KR20190072603