Electro-static actuator having a spacer unit for a fixed electrode and optical scanner having the same

• Main Authors: KIM HWAN SUN, KIM YUN GOO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.12.2019
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

The present invention relates to an electro-static driver having a spacer unit for a fixed electrode and to an optical scanner having the same. The occurrence of a position difference in an undesired direction when forming the position difference between a fixed electrode and a driving electrode. According to the present invention, the electro-static driver displaces the fixed electrode and the driving electrode from each other by the physical force applied to the fixed electrode by a tilt portion. When displacing the fixed electrode and the driving electrode shafted from each other by the tilt portion, the spacer unit maintains a gap between a plurality of fixed electrodes and a plurality of driving electrodes, so that the fixed electrode can be prevented from moving in an undesired direction. 본 발명은 고정 전극용 스페이서부를 구비하는 정전 구동기 및 그를 갖는 광 스캐너에 관한 것으로, 고정 전극과 구동 전극 간에 위치 차이를 형성할 때 원하지 않는 방향으로 위치 차이가 발생되는 것을 억제하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 정전 구동기는 틸트부가 고정 전극부에 인가하는 물리적인 힘으로 고정 전극과 구동 전극을 서로 어긋나게 위치시킨다. 틸트부로 고정 전극과 구동 전극을 서로 어긋나게 위치시킬 때, 스페이서부를 복수의 고정 전극과 복수의 구동 전극 간의 간격을 유지하기 때문에, 고정 전극이 원하는 않는 방향으로 이동하는 것을 억제할 수 있다.