OPTICAL DETECTING APPARATUS FOR DETECTING A DEGREE OF FREEDOM ERROR OF A SPINDLE AND A DETECTING METHOD THEREOF

• Main Authors: HSIEH TUNG HSIEN, JYWE WEN YUH, HSU ZHONG LIANG, HSU CHIA MING, HUANG SEN YI, CHANG YU WEI, HSIEH TUNG HSING
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 30.07.2019
• Subjects: BORING; MACHINE TOOLS; MEASURING; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; TESTING; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; TRANSPORTING; TURNING

The present invention relates to an optical detection apparatus for detecting an error in a degree of freedom of a spindle (11) and a method thereof. The optical detection apparatus comprises a standard bar (20) and a sensor module (30). The standard bar (20) includes a rod lens (21) and a reflection surface (22). The sensor module (30) includes two detection groups (34, 35), an inclined laser head (36), and a reflected spot displacement sensor (37). Each detection group (34, 35) emits a laser light through the rod lens (21). The inclined laser head (36) emits an inclination laser light to the reflected spot displacement sensor (37). When an error is created after the spindle (11) rotates, the sensor module (30) receives a change of laser lights to obtain displacement change signals of the standard bar (20) to allow a calculation unit (40) to detect an error between the spindle (11) and a platform (12). 본 발명은 스핀들(11)의 자유도 오차를 검측하는 광학식 검측 장치 및 방법에 관한 것으로서 표준봉(20) 및 센서 모듈(30)을 갖는다. 표준봉(20)은 막대 렌즈(21) 및 반사면(22)을 갖는다. 센서 모듈(30)은 2개의 검측 그룹들(34, 35), 경사 레이저 헤드(36), 및 반사된 스폿 변위 센서(37)를 갖는다. 각각의 검측 그룹(34, 35)은 막대 렌즈(21)를 통과하여 레이저 광을 방출한다. 경사 레이저 헤드(36)는 경사 레이저 광을 반사된 스폿 변위 센서(37)에 방출한다. 스핀들(11)이 회전 후 오차를 생성할 때, 센서 모듈(30)은 레이저 광들의 변화를 수신하여 표준봉(20)의 변위 변화 신호들을 얻어서 계산 유닛(40)이 스핀들(11)과 플랫폼(12) 사이의 오차를 검측하게 한다.