APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE BY A NON-CONTACT

• Main Author: KIM, HYEONG YONG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 19.07.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a contactless substrate transfer apparatus, which has a simple structure and transfers a tray on which a substrate is mounted in a contactless manner. The contactless substrate transfer apparatus includes: a tray having a magnetic levitation member on a lower portion surface and a transfer permanent magnet provided between the magnetic levitation members; and a guide unit guiding transfer of the tray and having levitation electromagnet spaced apart to correspond to the magnetic levitation member and providing levitation force to the tray and a transfer electromagnet spaced apart to correspond to the transfer permanent magnet and providing transfer force to the tray. 본 발명은 구조가 단순하며 기판이 안착된 트레이를 비접촉 방식으로 이송하는 비접촉식 기판 이송 장치에 관한 것으로, 하부면에 자기부상 부재 및 상기 자기부상 부재 사이에 배치되는 이송용 영구자석을 구비하는 트레이; 및 상기 트레이의 이송을 가이드하는 가이드 유닛으로서, 상기 자기부상 부재에 대응하도록 이격 배치되어 상기 트레이에 부상력을 제공하는 부상용 전자석 및 상기 이송용 영구자석에 대응하도록 이격 배치되어 상기 트레이에 이송력을 제공하는 이송용 전자석을 구비하는 상기 가이드 유닛을 포함하여 구성될 수 있다.