3 Apparatus for measuring three dimensional shape

• Main Author: KIM, TAEG GYUM
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 21.02.2018
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

The present invention relates to a three-dimensional shape measuring device. A stage moves a measurement object in the Y-axis direction while the measurement object is placed on the XY plane. A light source emits light. A first cylindrical lens receives the light emitted from a light source and makes the light into a focal line. A scan mirror reflects the light passing through the first cylindrical lens and makes the light be incident on the measurement object on the stage. The scan mirror moves the incident light in the X-axis direction by being rotated around the Y-axis. A scan lens receives the light passing through the scan mirror and forms a focus on the X-axis. A second cylindrical lens receives the light passing through the scan lens and forms a focus on the Y-axis. A detector detects the light reflected from the measurement object and returning through the second cylindrical lens, the scan lens, and the scan mirror in quadrant portions and measures the height of the measurement object. A beam splitter transmits the light passing through the first cylindrical lens to the scan mirror and transmits the light returning through the scan mirror to the detector. According to the present invention, the three-dimensional shape of the measurement object can be measured at high speed and high resolution. 본 발명은 3차원 형상 측정장치에 관한 것이다. 스테이지는 XY 평면 상에 측정대상물을 안착한 상태에서 Y축 방향으로 이동시킨다. 광원은 광을 출사한다. 제1 실린드리컬 렌즈는 광원으로부터 출사되는 광을 받아서 초선으로 만든다. 스캔 미러는 제1 실린드리컬 렌즈를 거친 광을 반사시켜 스테이지 상의 측정대상물로 입사시키며, Y축을 중심으로 회전함에 따라 입사 광을 X축 방향으로 이동시킨다. 스캔 렌즈는 스캔 미러를 거친 광을 받아서 X축 상에 초점을 형성한다. 제2 실린드리컬 렌즈는 스캔 렌즈를 거친 광을 받아서 Y축 상에 초점을 형성한다. 디텍터는 측정대상물로부터 반사되어 제2 실린드리컬 렌즈와 스캔 렌즈 및 스캔 미러를 차례로 거쳐 되돌아오는 광을 4분할로 검출하여 측정대상물의 높이를 측정하게 한다. 빔 스플리터는 제1 실린드리컬 렌즈를 거친 광을 스캔 미러로 전달하며, 스캔 미러를 거쳐 되돌아오는 광을 디텍터로 전달한다.