Multi-layered resistive type multi-point temperature measuring wafer sensor and method for fabricating the same

• Main Authors: KWON, SU YONG, KIM, TAE WAN, KANG, SANG WOO, KIM, YONG GYOO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 14.06.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

본 발명에 따른 다층 저항식 다점 온도측정 웨이퍼 센서(1)는, 웨이퍼(10) 상에 복수개의 전극배선(21)이 형성되어 이루어지는 전극부(20); 웨이퍼(10) 상에서 전극부(20)와 다른 층에 위치하도록 설치되며, 복수개의 단위저항(31)이 연결배선(32)에 의해 직렬 연결되어 이루어지는 저항부(30); 전극부(20)와 저항부(30) 사이에 설치되는 층간절연층(50); 및 전극배선(21) 각각의 일단이 단위저항(31)들의 양단에 전기적으로 연결되도록 층간절연층(50)의 비아홀에 설치되는 도전플러그(55); 를 포함하여 이루어짐으로써, 전극부(20)를 통하여 저항부(30)에서의 전위차를 측정하여 웨이퍼(10)의 온도 균일도를 간파하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 전극부(20)와 저항부(30)가 서로 다른 층에 형성되기 때문에 저항부(30)의 단위저항(31)과 연결배선(32)을 전극부(20)의 방해를 받지 않고 웨이퍼(10)의 전면적에 설치할 수 있다. 따라서 웨이퍼(10)의 전면적에 대해서 온도 균일도를 세밀하게 파악할 수 있게 된다.