METHOD FOR MANUFACTURING MICRO LENS ARRAY

The present invention relates to an apparatus for manufacturing a microlens array including a basic plate and a plurality of microlens protruding from the basic plate. Provided is the apparatus comprising: a first substrate in which a plurality of cavities are formed in a location corresponding to a...

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Main Authors CHO, IL JOO, YOON, EUI SUNG, LEE, HYUNJOO JENNY
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 14.05.2015
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Summary:The present invention relates to an apparatus for manufacturing a microlens array including a basic plate and a plurality of microlens protruding from the basic plate. Provided is the apparatus comprising: a first substrate in which a plurality of cavities are formed in a location corresponding to a location of the plurality of microlens; and a second substrate which has a lower melting point than the first substrate, and is joined to the first substrate to close the plurality of cavities. A portion of the second substrate disposed above the cavity is convexly swelled by air collected in the cavity of which the volume is expanded by applying a temperature above the melting point of the second substrate, by which a dome corresponding to a shape of the microlens is formed, and the microlens array is molded as a mold of the second substrate in which the dome is formed. 기초 판과, 상기 기초 판 위로 돌출되는 복수의 마이크로 렌즈를 포함하는 마이크로 렌즈 어레이를 제조하기 위한 마이크로 렌즈 어레이 제조장치로서, 상기 복수의 마이크로 렌즈의 위치에 대응하는 위치에 복수의 캐비티(cavity)가 형성된 제1 기판 및 상기 제1 기판보다 녹는점이 낮으며, 상기 제1 기판 위에 접합되어 상기 복수의 캐비티를 폐쇄하는 제2 기판을 포함하고, 상기 제2 기판의 녹는점 이상의 온도가 가해져 부피 팽창하는 상기 캐비티 안에 포집된 공기에 의하여 상기 캐비티 위에 위치한 상기 제2 기판의 부분이 볼록하게 부풀어올라 상기 마이크로 렌즈의 형상에 대응하는 돔(dome)을 구성하고, 상기 돔이 형성된 제2 기판을 주형으로 상기 마이크로 렌즈 어레이를 주조하는 마이크로 렌즈 어레이 제조장치가 제공된다.
Bibliography:Application Number: KR20130137435