MAGNETORESISTIVE SENSOR

개선된 MR 계수와 개선된 열 안정도를 갖는 MR 센서는 퍼멀로이(NiFe) 스트라이프(Permalloy stripe)에 경계면상으로 인접한 하나 또는 그 이상의 크롬을 기본으로 하는 스페이서층(chromium based spacer layer)을 이용하여 제공된다. 크롬을 기본으로 하는 스페이서층은 NiFeCr 또는 NiCr 일 수도 있다. 최상의 조성물은 (NiFe)Cr과 NiCr인 것으로 알려졌다. NiCr의 경우 MR 스트라이프의 MR 계수는 NiCr층이 탄탈(Ta)층 위에 침착될 때 가장 향상된다. 더 나아가 NiFeCr...

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Main Authors LEE WEN YAUNG, MAURI DANIELE
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 01.08.2000
Edition7
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Summary:개선된 MR 계수와 개선된 열 안정도를 갖는 MR 센서는 퍼멀로이(NiFe) 스트라이프(Permalloy stripe)에 경계면상으로 인접한 하나 또는 그 이상의 크롬을 기본으로 하는 스페이서층(chromium based spacer layer)을 이용하여 제공된다. 크롬을 기본으로 하는 스페이서층은 NiFeCr 또는 NiCr 일 수도 있다. 최상의 조성물은 (NiFe)Cr과 NiCr인 것으로 알려졌다. NiCr의 경우 MR 스트라이프의 MR 계수는 NiCr층이 탄탈(Ta)층 위에 침착될 때 가장 향상된다. 더 나아가 NiFeCr 및 NiCr층의 두께가 각각 25Å과 50Å일 때 MR 계수가 최적화된다. 두 스페이서층은 모두 감지 전류의 낮은 션팅(shunting)과 양립할 수 있는 높은 저항을 갖는다. An MR sensor with an improved MR coefficient and improved thermal stability is provided by employing one or more chromium based spacer layers which are interfacially adjacent a Permalloy (NiFe) stripe. The chromium based spacer layers may be NiFeCr or NiCr. The best compositions have been found to be (Ni89Fe21)60Cr40 and Ni60Cr40. For NiCr the MR coefficient of the MR stripe is most enhanced when the NiCr layer is deposited on a layer of tantalum (Ta). Further, when the thicknesses of the NiFeCr and the NiCr layers are 25 ANGSTROM and 50 ANGSTROM respectively the MR coefficients are optimized. Both spacer layers have a high resistance compatible with low shunting of the sense current.
Bibliography:Application Number: KR19970049135