ARRANGEMENT METHOD OF PHASE SHIFTER AND MEMORY

• Main Author: HARUKI, TAMAE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.03.2000
• Edition: 7
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

본 발명은, 포토마스크에 대한 위상쉬프터 배치방법 및 기억매체에 관한 것으로서, 컴퓨터를 사용하여 위상쉬프터의 바람직한 배치를 자동적으로 구하는 것을 목적으로 한다. 개구패턴을 노드로하여 서로 이웃하는 개구패턴의 간격이 설정치이하인 개구패턴 사이를 브랜치로한다. 노드의 브랜치에 의한 연결을 네트로서 추출하고, 이 네트를 폐루프가 존재하지 않는 독립한 개네트와, 개네트 이외의 독립한 폐네트로 분할한다. 각 폐네트에 대하여, 보통의 위상쉬프터의 배치에 대응한 트리를 작성하고, 이를 유전적 알고리듬에서의 염색체로하고, 인접한 노드의 위상차가 0인 모순브랜치의 총합 또는 모순 브랜치에 무게를 붙인 것의 총합이 적어지도록 진화시킨다. A phase shifter arranging method selectively arranges phase shifters on aperture patterns of a photomask so that a phase difference of pi radians occurs between lights transmitted through mutually adjacent aperture patterns of the photomask. The phase shifter arranging method is computer-implemented and comprises the steps of (a) extracting connections of nodes via branch as a net, where each aperture pattern is taken as a node, and mutually adjacent aperture patterns having an interval less than or equal to a predetermined value D0 are taken as nodes connected via a branch, (b) dividing the net into an open net and a closed net which are independent of each other, where the open net has no closed loop and the closed loop is other of the open loop, and (c) selectively arranging the phase shifters with respect to each of mutually independent closed nets.