METHOD FOR ANALYZING SOLID SPECIMEN AND APPARATUS THEREFOR

• Main Authors: ISHIBASHI, YOHICHI, MAEKAWA, TOSHIYA, AKIYOSHI, TAKANORI, SAKASHITA, AKIKO, MOCHIZUKI, TADASHI, SATO, SHIGEOMI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.10.1999
• Edition: 6
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

고체 표본을 분석하기 위한 방법은 다음과 같은 단계들: 즉, 최소 100㎐이상의 주파수와 1㎲ec 혹은 그 이하의 반폭을 가지는 펄스 레이저빔을 생성하는 단계; 레이저 조사구역을 결정하는 단계; 미소입자를 생성하기 위해 고체 표본의 일부분을 증발하고 비활성 가스 흐름속에서 펄스 레이저빔을 조사하는 단계; 상기 미소입자를 검출기로 전달하는 단계 및 검출기에서 원소분석을 수행하는 단계로 이루어진다. 고체 표본분석 장치는 반도체 레이저를 포함하는 레이저 발진장치; 레이저빔을 수렴하기 위한 수렴장치; 미소입자를 생성하기 위해 수렴된 레이저빔을 조사하는 조사장치; 원소분석을 수행하기 위한 분석기; 및 상기 분석기에 미소입자를 전달하기 위한 전달장치로 구성된다. A method for analyzing a solid specimen comprises the steps of: preparing a pulsed laser beam having a frequency of at least 100 Hz and a half width of 1 mu sec or less; determining a laser irradiation region; irradiating the pulsed laser beam in an inert gas stream and vaporizing a part of the solid specimen to generate fine particles; transferring said fine particles to a detector; and performing elemental analysis in the detector. An apparatus comprises: laser oscillating device including a semiconductor laser; converging device for converging a laser beam; irradiating device for irradiating the converged laser beam to generate fine particles; an analyzer for performing elemental analysis; and transfer device for transferring the fine particles to said analyzer.