ELECTRON-EMITTING DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME AS WELL AS ELECTRON SOURCE AND IMAGE FORMING APPARATUS COMPRISING SUCH ELECTRON-EMITTING DEVICES

본 발명의 목적은 기판상에 배열된 한 쌍의 소자 전극사이에 배치된 전자 방출 영역을 갖고 있는 전기전도성 박막을 포함하는 전자 방출 소자를 제공하는데 있다. 전자 방출 영역은 전극들 중 어느 한 전극과 기판에 의해 형성된 단차부에 근접 형성되어 있다. A method of manufacturing an electron emitting device (104) of the type having, on a substrate 1, an electroconductive thin film (3) with an electron-emitting...

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Main Authors YAMAMOTO, KEISUKE, YAMANOBE, MASATO, TSUKAMOTO, TAKEO, HAMAMOTO, YASUHIRO
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 01.09.1999
Edition6
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Summary:본 발명의 목적은 기판상에 배열된 한 쌍의 소자 전극사이에 배치된 전자 방출 영역을 갖고 있는 전기전도성 박막을 포함하는 전자 방출 소자를 제공하는데 있다. 전자 방출 영역은 전극들 중 어느 한 전극과 기판에 의해 형성된 단차부에 근접 형성되어 있다. A method of manufacturing an electron emitting device (104) of the type having, on a substrate 1, an electroconductive thin film (3) with an electron-emitting region (2), connected to respective electrodes (4,5). The electroconductive film (3) is formed by spraying through a nozzle (33;131) a solution containing component elements of the electroconductive thin film (3) which is to be formed. Spraying is performed whilst an electrical potential difference (V) is produced between the electrodes (4,5), between the nozzle (131) and the substrate (1), or both. The effect is to improve adherence of the film (3) to the substrate (1) or substrate and electrodes (1,4,5). This method may be extended to the manufacture of an electron source (1,102-104) having an array of electron-emitting devices (104).
Bibliography:Application Number: KR19950031317