APPARATUS FOR CLEANING A SUBSTRATE AND METHOD FOR ATTACHING/DETACHING A CLEANING BRUSHES

• Main Authors: O-TANI, MASAMI, SUGIMOTO, GENJI, HUJITA, MITSUHIRO, HIRAOKA, NOBUYAS
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.12.1998
• Edition: 6
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

선단부에 브러쉬가 각각 부착된 복수의 브러쉬 지지암이 병렬 설치되어 대기위치에 대기되어 있다. 각 브러쉬 지지암 중에서 소망의 브러쉬가 부착된 브러쉬 지지암이 택일적으로 선택되고, 이 선택된 브러쉬 지지암의 기단부와 요동암의 선단부가 걸어 맞추어진다. 요동암과 걸어 맞추어진 브러쉬 지지암은 요동암을 통해서 요동암의 기단부의 요동지점 주위에서 요동되고, 선택한 브러쉬 지지암의 선단부에 부착된 브러쉬가 대기위치와 기판의 중앙부 사이에서 이동되고, 이 브러쉬를 사용한 기판세정이 행해진다. 이 기판세정이 종료하면, 브러쉬 지지암은 대기위치에 대기되고, 다음 세정에 사용하는 브러쉬 지지암이 대기 위치에서 선택되고, 그 브러쉬 지지암에 연결된 브러쉬에 의한 기판세정이 행해진다. A plurality of brush support arms, each having a distal end unit brush attached thereto, stand by in juxtaposition in a standby position. The brush support arm having a desired brush attached thereto is selected from the plurality of brush support arms. Then, the selected brush support arm is connected at its proximal end to a distal end of a swing arm. The brush support arm engaged with the swing arm is swung with the swing arm about a pivotal point at a proximal end of the swing arm. As a result, the brush attached to the distal end of the selected brush support arm is moved between the standby position and the center of a substrate, to clean the substrate with this brush. Upon completion of this substrate cleaning, the brush support arm is returned to the standby position. A different brush support arm is selected in the standby position for use in a subsequent cleaning operation, and the substrate is cleaned with the brush connected to this different brush support arm.