THIN FILM MERGED MR HEAD WITH ALIGNED POLE TIPS

• Main Authors: JYH-SHUEY J. LO, VALLETTA, ROBERT M, KROUNBI, MOHAMAD T, CHANG, CHING-H
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.10.1998
• Edition: 6
• Subjects: INFORMATION STORAGE; INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORDCARRIER AND TRANSDUCER; PHYSICS

병합혁 MR 헤드는 사이드-프린징을 최소화하고 오프-트랙 성능을 향상시키기 위해 수직 정렬된 측벽을 갖는다. 판독 헤드의 제2차폐층(S2)을 포함하는 하부 폴부(P1)는 짧은 길이의 받침대 폴팁을 구비한다. 갭층(G) 길이의 2배나 짧은 길이를 갖는 받침대 폴팁은 사이드라이팅을 최소화하고 오프-트랙 성능을 향상시킨다. 기록 헤드의 하부 폴팁 구조체는 상부 폴팁 구조체를 마스크로 사용하는 이온 비임 밀링에 의해 형성된다. 이온 비임 밀링은 하부 폴팁 구조체가 상부 폴팁 구조체와 정렬되는 측벽을 갖도록 밀링되는 상부 폴팁 구조체의 측벽에 대해 어떤 각도로 방향 설정된다. 이온 비임 밀링은 두개의 각진 비임을 순차적이거나 동시적으로 포함할 수 있다. 제1이온 비임은 기본적으로 절단 공정과 청소 작업을 수행하고, 제2이온 비임은 절단에 의한 파편의 재부착을 방지하는 청소 작업을 수행한다. 다른 실시예에서는 각도가 특정 범위에 있을 경우에 단일의 각진 이온 비임이 이용될 수 있다. A merged MR head is provided which has vertically aligned sidewalls so as to minimize side-fringing and improve off-track performance. The bottom pole piece P1, which comprises the second shield layer S2 of the read head, has a pedestal pole tip with a short length dimension. A pedestal pole tip with a length as short as two times the length of the gap layer G optimally minimizes the sidewriting and improves off-track performance. The bottom pole tip structure of the write head is constructed by ion beam milling using the top pole tip structure as a mask. The ion beam milling is directed at an angle to the sidewalls of the top pole tip structure which causes the bottom pole tip structure to be milled with sidewalls which align with the top pole tip structure. The ion beam milling can comprise two angled beams, either sequentially or simultaneously, the first beam performing primarily a cutting operation and some clean up work while the second beam primarily conducts clean up work of the redeposition of the debris caused by the cutting. In another embodiment, a single angled ion beam can be employed, provided its angle is within a particular range.