MICRO-MINIATURIZED, ELECTROSTATICALLY DRIVEN DIAPHRAGM MICROPUMP

본 원은 대응전극으로서의 제1펌프 몸체(2;32)와, 격판 영역(6)을 갖는 제2펌프 몸체(3;33)가 있는 정전 구동 격판 마이크로펌프(1)에 관한 것이다.2개의 펌프 몸체(2,32;3,33)는 격판 영역(6)과 접하는 공간(10)을 설정하며, 몸체들은 서로에 대해 전기적으로 절연된다.공간(10)에는 토출될 유체와 다른 매체로 채워진다. 펌프 몸체(2,32,3,33)는 다양한 극성의 반도체 재질로 구성될 수 있다. 공간내의 매체 유전 상수는 크다. PCT No. PCT/DE92/00630 Sec. 371 Date Mar. 9, 1...

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Main Authors ZENGERLE, ROLAND, RICHTER, AXEL
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 30.09.1997
Edition6
Subjects
BLASTING
HEATING
LIGHTING
MECHANICAL ENGINEERING
POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS
PUMPS
PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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Summary:본 원은 대응전극으로서의 제1펌프 몸체(2;32)와, 격판 영역(6)을 갖는 제2펌프 몸체(3;33)가 있는 정전 구동 격판 마이크로펌프(1)에 관한 것이다.2개의 펌프 몸체(2,32;3,33)는 격판 영역(6)과 접하는 공간(10)을 설정하며, 몸체들은 서로에 대해 전기적으로 절연된다.공간(10)에는 토출될 유체와 다른 매체로 채워진다. 펌프 몸체(2,32,3,33)는 다양한 극성의 반도체 재질로 구성될 수 있다. 공간내의 매체 유전 상수는 크다. PCT No. PCT/DE92/00630 Sec. 371 Date Mar. 9, 1994 Sec. 102(e) Date Mar. 9, 1994 PCT Filed Jul. 28, 1992 PCT Pub. No. WO93/05295 PCT Pub. Date Mar. 18, 1993.An electrostatically driven diaphragm micropump comprises a first pump body as a counterelectrode and a second pump body having a diaphragm region. The two pump bodies establish a hollow space bordering on the diaphragm region and are electrically insulated from each other. The hollow space is filled with a medium different from the fluid to be pumped. The pump bodies may consist of a semiconductor material of different types of charge. The medium in the hollow space preferably has a high dielectric constant.
Bibliography:Application Number: KR19940700780