LASER PROCESSING DEVICE AND LASER PROCESSING METHOD

• Main Authors: OGIWARA TAKAFUMI, KOREMATSU KATSUHIRO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 07.09.2023
• Subjects: CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

To provide a laser processing device and a laser processing method which can easily and accurately check whether or not a center position of an image of a laser beam transferred to an entrance pupil surface of a light-focusing part coincides with a center position of an entrance pupil surface of the light-focusing part in a prescribed direction.SOLUTION: A 4f lens unit 420 transfers an image of a laser beam L in a spatial light modulator 410 to an entrance pupil surface 430a of a condensing lens unit 430. An observation camera 488 detects reflection light RL of the laser beam L incident on an object 1 from a first surface 1a side and reflected on a second surface 1b. A control unit 500 controls the spatial light modulator 410 such that a spherical aberration is corrected and a coma aberration is generated in a Y direction on the entrance pupil surface 430a when the reflection light RL is detected by the observation camera 488 in order to check whether or not a center position of the image of the laser beam L transferred to the entrance pupil surface 430a coincides with a center position of the entrance pupil surface 430a in the X direction.SELECTED DRAWING: Figure 10 【課題】集光部の入射瞳面に転像されたレーザ光の像の中心位置が所定方向において集光部の入射瞳面の中心位置に一致しているか否かを容易に且つ精度良く確認することができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。【解決手段】４ｆレンズユニット４２０は、空間光変調器４１０におけるレーザ光Ｌの像を集光レンズユニット４３０の入射瞳面４３０ａに転像する。観察用カメラ４８８は、第１面１ａ側から対象物１に入射して第２面１ｂで反射されたレーザ光Ｌの反射光ＲＬを検出する。制御部５００は、入射瞳面４３０ａに転像されたレーザ光Ｌの像の中心位置がＸ方向において入射瞳面４３０ａの中心位置に一致しているか否かを確認するために、観察用カメラ４８８によって反射光ＲＬが検出される際に、球面収差が補正されるように且つ入射瞳面４３０ａにおいてＹ方向にコマ収差が発生するように、空間光変調器４１０を制御する。【選択図】図１０