SUPPORT UNIT, SUPPORT BODY, AND IONIZATION METHOD

• Main Authors: KOTANI MASAHIRO, OMURA TAKAYUKI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 04.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

To provide a support unit, a support body, and an ionization method capable of improving sensitivity.SOLUTION: A support unit 1 comprises a first support body 10 and a second support body 20. The first support body 10 has an ionization substrate 11 and a frame 12. The ionization substrate 11 includes a plurality of through-holes 11g. The frame 12 is provided on a first surface 11e of the ionization substrate 11. The second support body 20 has a support substrate 21 and an adhesive layer 22. The adhesive layer 22 is provided on a support surface 211 of the support substrate 21. The frame 12 has a holding part 13 and a gripping part 15. The holding part 13 includes an opening 12e corresponding to a measurement region R. The holding part 13 is fixed to the first surface 11e. The gripping part 15 is separated from the second support body 20 in an adhesion state where at least a part of a surface region 11h corresponding to the measurement region R is bonded to the adhesive layer 22.SELECTED DRAWING: Figure 6 【課題】感度の向上が可能な支持ユニット、支持体及びイオン化方法を提供する。【解決手段】支持ユニット１は、第１支持体１０と、第２支持体２０と、を備えている。第１支持体１０は、イオン化基板１１と、フレーム１２と、を有している。イオン化基板１１は、複数の貫通孔１１ｇを含んでいる。フレーム１２は、イオン化基板１１の第１表面１１ｅに設けられている。第２支持体２０は、支持基板２１と、接着層２２と、を有している。接着層２２は、支持基板２１の支持面２１１に設けられている。フレーム１２は、保持部１３と、把持部１５と、を有している。保持部１３は、測定領域Ｒに対応する開口１２ｅを含んでいる。保持部１３は、第１表面１１ｅに固定されている。把持部１５は、測定領域Ｒに対応する表面領域１１ｈの少なくとも一部が接着層２２に接着されている接着状態では、第２支持体２０から離れている。【選択図】図６