PROCESSING DEVICE

• Main Authors: KAWAGUCHI YOSHIHIRO, MASADA TAKAYUKI, CHO KINEN
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 09.02.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CUTTING; CUTTING-OUT; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HAND CUTTING TOOLS; PERFORATING; PERFORMING OPERATIONS; PUNCHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; SEVERING; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING; STAMPING-OUT; TRANSPORTING; WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE; WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS

To support a confirmation of a heating region of a heating unit against a sheet supporting a workpiece.SOLUTION: A processing device 10 comprises: a holding table that has a holding surface holding a workpiece supported via a sheet to an open of an annular frame; a frame holding unit that includes a mounting surface onto which the frame is mounted, and that holds the frame; a lifting mechanism that relatively lifts the holding surface to the mounting surface; a heating unit that heats the sheet exposed between an inner diameter of the frame and an outer diameter of the workpiece; a movement mechanism that relatively movably supports the heating unit to the holding unit; and a control unit 70. The control unit 70 includes: a setting part 71 that sets a heating condition that the heating unit heats the sheet; and a simulation part 73 that displays the heating region of the heating unit based on the heating condition set by the setting part 71 so as to be identifiable to the image of the workpiece supported via the sheet by the frame.SELECTED DRAWING: Figure 7 【課題】被加工物を支持するシートに対する加熱ユニットの加熱領域の確認を支援する。【解決手段】加工装置１０は、環状のフレームの開口にシートを介して支持された被加工物を保持する保持面を有する保持テーブルと、該フレームが載置される載置面を有し、該フレームを保持するフレーム保持ユニットと、該載置面に対して該保持面を相対的に昇降させる昇降機構と、該フレームの内径と被加工物の外径との間に露出している該シートを加熱する加熱ユニットと、該加熱ユニットを該保持面に対して相対的に移動可能に支持する移動機構と、制御ユニット７０と、を備え、該制御ユニット７０は、該加熱ユニットが該シートを加熱する加熱条件を設定する設定部７１と、該フレームに該シートを介して支持された被加工物の画像に、該設定部７１によって設定された該加熱条件に基づく該加熱ユニットの加熱領域を識別可能に表示するシミュレーション部７３と、を有する。【選択図】図７