SENSOR

• Main Authors: OTA NORIKAZU, FUJIYOSHI MOTOHIRO, OZAKI TAKASHI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 22.11.2022
• Subjects: INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK; PHYSICS; TESTING

To provide a sensor composed using an oscillator.SOLUTION: The sensor comprises first and second fixed electrodes. The sensor comprises a power source for supplying first and second voltages to the first and second fixed electrodes. The sensor comprises a movable electrode arranged near the first and second fixed electrodes. The movable electrode is in a high impedance state with respect to the first and second fixed electrodes. The movable electrode is configured to, when coming close to one of the first and second fixed electrodes, move away from the other. The sensor comprises a capacitive element connected between at least one of the first and second fixed electrodes and the movable electrode. The sensor comprises a signal detection circuit connected to any one of the movable electrode, the first fixed electrode and the second fixed electrode. The sensor comprises a resistive element connecting the first fixed electrode to the movable electrode. A capacitance value of the capacitive element or an ohmic value of the resistive element is configured to change in response to input physical quantity.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】振動子を用いて構成したセンサを提供する。【解決手段】センサは、第１および第２固定電極を備える。センサは、第１および第２固定電極に第１および第２電圧を与える電源を備える。センサは、第１および第２固定電極の近傍に配置されている可動電極を備える。可動電極は、第１および第２固定電極に対して高インピーダンス状態である。可動電極は、第１および第２固定電極の一方に接近すると他方から離反するように動くことが可能に構成されている。センサは、第１および第２固定電極の少なくとも一方と可動電極との間に接続されている容量素子を備える。センサは、可動電極、第１固定電極および第２固定電極の何れかに接続されている信号検出回路を備える。センサは、第１固定電極と可動電極とを接続している抵抗素子を備える。容量素子の容量値または抵抗素子の抵抗値が入力物理量に応じて変化することが可能に構成されている。【選択図】図１