REDUCTION OF THERMAL MAGNETIC FIELD NOISE IN TEM CORRECTOR SYSTEM

• Main Authors: DONA PLEUN, HENSTRA ALEXANDER
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 13.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

To provide a system for reducing generation of thermal magnetic field noise in optical elements of a microscope system.SOLUTION: An example microscopy optical element having reduced Johnson noise generation according to the present disclosure includes an inner core composed of an electrically isolating material, and an outer coating composed of an electrically conductive material. A product of a thickness of the outer coating and electrical conductivity of the electrically conductive material is less than 0.01 Ω-1. The outer coating causes reduction in Johnson noise generated by the optical element of greater than 2 times, greater than 3 times, or an order of magnitude or greater. In a specific example embodiment, the optical element is a corrector system having reduced Johnson noise generation. Such a corrector system includes an outer magnetic multipole, and an inner electrostatic multipole. The inner electrostatic multipole includes an inner core composed of an electrically isolating material and an outer coating composed of an electrically conductive material.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 顕微鏡システムの光学素子における熱磁場ノイズの発生を低減するためのシステムが開示される。【解決手段】 本開示による、ジョンソンノイズの発生が低減された例示的な顕微鏡光学素子は、電気絶縁材料から構成されている内側コアと、導電性材料から構成されている外側コーティングと、を備える。外側コーティングの厚さと電気伝導率の積は、０．０１Ω－１未満である。外側コーティングにより、光学素子によって発生するジョンソンノイズが２倍超、３倍超、または１桁以上低減する。特定の例示的な実施形態では、光学素子は、ジョンソンノイズの発生が低減された補正器システムである。このような補正器システムは、外部磁気多極子と、内部静電多極子と、を備える。内部静電多極子は、電気絶縁材料から構成されている内側コアと、導電性材料から構成されている外側コーティングと、を備える。【選択図】 図１