TAPE MOUNTER

• Main Authors: RIKIISHI TOSHIYASU, YASUDA YUKI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 08.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

To eliminate an operator's operations to replenish a frame in a tape mounter.SOLUTION: A tape mounter 1 comprises: a mechanism 30 that conveys a ring-shaped frame to a frame table 477; a mechanism 5 that conveys a wafer to a wafer table 478; a tape application mechanism 47 that applies a tape to the frame and the wafer to form a frame set; a stage 131 on which a cassette 61 for accommodating the frame is placed; and a robot 2 that has a frame holding part 21, and can take out the frame from the cassette 61 on the stage 131 or accommodate the frame set in the cassette 61. The tape mounter performs control in which the frame holding part 21 holds and takes out the frame in the cassette 61 on the stage 131, control in which the frame conveying mechanism 30 receives the frame held by the frame holding part 21, control in which the frame holding part 21 receives the frame set held by the frame conveying mechanism 30, and control of accommodating the frame set held by the frame holding part 21 in the cassette.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】テープマウンタにおいて、作業者のフレームの補充作業を無くす。【解決手段】フレームテーブル４７７にリング状のフレームを搬送する機構３０と、ウェーハテーブル４７８にウェーハを搬送する機構５と、フレームとウェーハとにテープを貼着しフレームセットを形成するテープ貼着機構４７と、フレームを収納するカセット６１を載置するステージ１３１と、フレーム保持部２１を有しステージ１３１上のカセット６１からフレームを取り出し、又はフレームセットをカセット６１内に収納可能なロボット２と、を備え、ステージ１３１上のカセット６１内のフレームをフレーム保持部２１が保持し取り出す制御と、フレーム保持部２１が保持するフレームをフレーム搬送機構３０が受け取る制御と、フレーム搬送機構３０が保持するフレームセットをフレーム保持部２１が受け取る制御と、フレーム保持部２１が保持するフレームセットをカセット収納する制御と、をするテープマウンタ１。【選択図】図３