APPARATUS AND TECHNIQUES FOR ELECTRONIC DEVICE ENCAPSULATION

• Main Authors: CONOR F MADIGAN, JUSTIN MAUCK, EUGENE RABINOVICH, CHRISTOPHER BUCHNER, GREGORY LEWIS, NAHID HARJEE, ALEXANDER SOU-KANG KO, ELIYAHU VRONSKY
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 11.01.2022
• Subjects: APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL; APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; TRANSPORTING

To provide apparatus and techniques for electronic device encapsulation.SOLUTION: Apparatus and techniques for use in manufacturing a light emitting device, such as an organic light emitting diode (OLED) device, can include using one or more modules having a controlled environment. The controlled environment can be maintained at a pressure being about atmospheric pressure or above atmospheric pressure. The modules can be arranged to provide various processing regions and to facilitate printing or otherwise depositing one or more patterned organic layers of an OLED device, such as an organic encapsulation layer (OEL) of an OLED device. In an example, uniform support for a substrate can be provided at least in part using a gas cushion, such as during one or more of a printing, holding, or curing operation comprising an OEL fabrication process.SELECTED DRAWING: Figure 3A 【課題】電子デバイスのカプセル化のための装置および技術を提供すること。【解決手段】有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）デバイス等の発光デバイスを製造する際に使用するための装置および技法は、制御された環境を有する、１つまたはそれを上回るモジュールを使用することを含むことができる。制御された環境は、ほぼ大気圧における、または大気圧を上回る圧力で維持することができる。モジュールは、種々の処理領域を提供するように、およびＯＬＥＤデバイスの有機カプセル化層（ＯＥＬ）等のＯＬＥＤデバイスの１つまたはそれを上回るパターン化有機層を印刷すること、または別様に堆積させることを促進するように配列することができる。実施例では、ＯＥＬ加工プロセスを含む、印刷、保持、または硬化動作のうちの１つまたはそれを上回るものの間等に、少なくとも部分的にガスクッションを使用して、基板のための一様な支持を提供することができる。【選択図】図３A