GAS ABSORPTION SPECTROSCOPY SYSTEM AND GAS ABSORPTION SPECTROSCOPY METHOD

• Main Authors: TATENO AKIRA, TOMITA HIDEO, VOLKER SONNENSCHEIN, KAMIYA NAOHIRO, YOSHIDA KENJI, MANO KAZUNE, NINOMIYA SHINICHI, TERABAYASHI RYOHEI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 04.01.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

To suppress etalon effects in gas absorption spectroscopy for finding the concentration of a target component in a gas accommodated in a cell.SOLUTION: A resonator 4 includes mirrors 41, 42 arranged such that light reflects between each other in the inside of a cell 3. A laser source 1 emits a laser beam with which the resonator 4 is irradiated and is constituted such that the oscillation frequency of the laser beam is variable. A mirror drive device 5 is constituted so as to be capable of changing the distance between the mirrors 41, 42 and thereby shifting a plurality of mode frequencies at which light is resonated inside of the resonator 4. A detector 6 detects the light extracted from the resonator 4. A controller 7 controls the mirror drive device 5 in such a way that the plurality of mode frequencies are shifted while receiving a detection signal from the detector 6. The controller 7 controls the mirror drive device 5 such that two adjacent mode frequencies out of the plurality of mode frequencies match the frequency of the laser beam in order.SELECTED DRAWING: Figure 10 【課題】セルに収容されたガス中の目的成分の濃度を求めるためのガス吸収分光におけるエタロン効果を抑制する。【解決手段】共振器４は、セル３の内部において光が互いの間で反射するように配置されたミラー４１，４２を含む。レーザ光源１は、共振器４に照射するためのレーザ光を発し、レーザ光の発振周波数を可変に構成されている。ミラー駆動装置５は、ミラー４１，４２の間の距離を変更することで、共振器４内で光が共振する複数のモード周波数をシフトさせることが可能に構成されている。検出器６は、共振器４から取り出された光を検出する。コントローラ７は、検出器６から検出信号を受けながら、複数のモード周波数がシフトするようにミラー駆動装置５を制御する。コントローラ７は、複数のモード周波数のうちの隣合う２つのモード周波数がレーザ光の周波数に順に一致するように、ミラー駆動装置５を制御する。【選択図】図１０