FRONT OPENING RING POD

• Main Authors: SCOTT WONG, AUSTIN NGO, DAMON TYRONE GENETTI, ALEX PATERSON, DEREK JOHN WITKOWICKI, MARC ESTOQUE, RICHARD H GOULD
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 21.10.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

To provide a consumable parts container (pod) that enables the delivery and removal of consumable parts from a cluster tool assembly.SOLUTION: A front opening ring pod 1000 includes a base plate 1134 having a front side, a back side, and two lateral sides. Support columns 1129 are disposed on respective lateral sides proximal to the front side, and other two support columns are disposed on respective lateral sides proximal to the back side. Each of the support columns includes fingers 1130 distributed lengthwise and directed inward. Two hard stop columns 1128 are disposed parallel to the support columns on the back side. A shell structure 1127 connected to the base plate encloses each support column, a top plate 1132 and the two hard stop columns and includes a front opening disposed on the front side of the base plate. A door frame 1120 is mated to the front opening, and further includes a retention assembly for securing consumable parts 208 in the pod, when received in the pod.SELECTED DRAWING: Figure 16 【課題】クラスタツールアセンブリからの消耗部品の運搬および取り出しを可能にする消耗部品の容器（ポッド）を提供する。【解決手段】正面開口式リングポッド１０００は、正面側と、背面側と、２つの側面側とを有するベース板１１３４を含む。支柱１１２９は、正面側に近接してそれぞれの側面側上に配置され、別の２つの支柱が、背面側に近接してそれぞれの側面側上に配置される。各支柱は、縦方向に配されて内側に向けられたフィンガ１１３０を含む。２つのの緊急停止柱１１２８は、背面側の支柱に平行に配置される。ベース板に接続されたシェル構造１１２７は、夫々の支柱、トップ板１１３２及び２つの緊急停止柱を取り囲み、ベース板の正面側に配置された正面開口を有する。ドア枠１１２０は、正面開口と嵌め合わされる。ポッド内に収容されたときの消耗部品２０８をポッド内で固定するための保持アセンブリをさらに含む。【選択図】図１６