OPTICAL INTERFERENCE SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE

• Main Authors: NAGASAKI HIDEAKI, SUZUKI SATOSHI, NAGAI KENJI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 27.09.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

To provide a technique for measuring physical properties of a measuring object with a simple configuration.SOLUTION: There is provided an optical interference system in one exemplary embodiment. The optical interference system includes a light source configured so as to generate measurement light, a fiber configured so as to propagate measurement light, and a measurement part. The fiber has a single mode fiber, a multimode fiber, and a connection part for connecting the single mode fiber and the multimode fiber. The tip of the fiber is composed of the multimode fiber. The end face of the tip of the fiber is configured so as to emit the measurement light to a measuring object and enter reflection light from the measuring object. The measurement part is configured so as to measure physical properties of the measuring object on the basis of the reflection light.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】簡易な構成で測定対象物の物性を計測する技術を提供する。【解決手段】一つの例示的実施形態において、光干渉システムが提供される。光干渉システムは、測定光を発生するように構成される光源と、測定光を伝搬するように構成されるファイバと、計測部とを備える。ファイバは、シングルモードファイバと、マルチモードファイバと、シングルモードファイバとマルチモードファイバとを接続する接続部とを有する。ファイバの先端は、マルチモードファイバで構成される。ファイバの先端の端面は、測定光を測定対象物へ出射するとともに測定対象物からの反射光を入射するように構成される。計測部は、反射光に基づいて測定対象物の物性を計測するように構成される。【選択図】図１