BUBBLE MEASURING APPARATUS AND METHOD

• Main Authors: INOUE TSUTOMU, TAIRA ERIKA, FUKUSHIMA TAKEO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 30.04.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

To provide a technique for improving accuracy in a bubble measuring apparatus for measuring bubbles contained in a solid sample.SOLUTION: A bubble measuring apparatus 10 includes a light source for irradiating a solid sample 20 with excitation light, an objective lens 30 for irradiating a predetermined position of the solid sample 20 with the excitation light and condensing reflected light from the solid sample, a spectrometer for detecting the condensed light, and measures bubbles contained in the solid sample 20. The solid sample 20 has a refractive index of 1.3 to 1.6, and the objective lens 30 is configured as an immersion objective lens 30. When measuring bubbles 32, an optical path from the solid sample 20 to the immersion objective lens 30 is filled with a liquid 34 having the refractive index of 1.3 to 1.6.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】 本発明は、固体試料の内部に含まれる気泡を測定する気泡測定装置における精度向上技術に関する。【解決手段】 固体試料２０に励起光を照射する光源と、前記固体試料２０の所定位置に励起光を照射するとともに該固体試料からの反射光を集光する対物レンズ３０と、集光した光を検出する分光器を備え、固体試料２０に含まれる気泡を測定する気泡測定装置１０である。固体試料２０は屈折率が１．３〜１．６であり、前記対物レンズ３０は、液浸対物レンズ３０として構成されている。気泡３２の測定時において前記固体試料２０から液浸対物レンズ３０までの光路は、屈折率が１．３〜１．６の液体３４で満たされていることを特徴とする。【選択図】 図２