PRESSURE SENSOR

• Main Authors: SOEDA SUSUMU, SEKINE MASASHI, ISHIHARA TAKUYA
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 04.02.2021
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

To suppress reduction in manufacturing yield due to manufacturing error of thickness of a diaphragm.SOLUTION: A pressure sensor includes: a diaphragm 102 that is displaceable and receives pressure of a gas to be measured at a pressure receiving surface; a measuring unit configured to measure displacement of the diaphragm; and a stress adjusting film 106 formed on at least one surface of the diaphragm 102 and configured to adjust internal stress of the diaphragm 102. The stress adjusting film 106 applies external force caused by film stress to the diaphragm 102 to adjust internal stress of the diaphragm 102. When the diaphragm 102 is made of sapphire, the stress adjusting film 106 may be made of aluminum oxide, for example.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ダイアフラムの厚さの製造誤差による製造歩留まり低下を抑制する。【解決手段】変位可能とされて測定対象の気体の圧力を受圧面で受けるダイアフラム１０２と、ダイアフラムの変位を測定するように構成された測定部と、ダイアフラム１０２の少なくとも一方の面に形成され、ダイアフラム１０２の内部応力を調整するように構成された応力調整膜１０６とを備える。応力調整膜１０６は、ダイアフラム１０２に膜応力に起因する外力を与えてダイアフラム１０２の内部応力を調整する。ダイアフラム１０２をサファイアから構成した場合、応力調整膜１０６は、例えば、酸化アルミニウムから構成することができる。【選択図】 図１