LASER-INDUCTED ANALYSIS DEVICE AND METHOD

• Main Authors: ONO TAKASHI, ITO YOSHINAO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 17.12.2020
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

To enable the content concentration of silicon included in a sample to be determined with high accuracy when analyzing a substance in the sample by laser-inducted plasma spectroscopy.SOLUTION: A laser-induced analysis device 10 of the present invention comprises: a sample plate 1 having a sample holding area 12 on the top surface where a sample is held and including, as a base material 11, either one metal selected from a metal group consisting of aluminum, iron, copper, titanium, nickel, tin, cobalt, zinc, manganese, beryllium, gold and platinum or an alloy including stainless steel and one or multiple metals selected from the above metal group; a light source 5 for irradiating a laser beam toward the sample holding area of the sample plate 1; and an analyzer 8 for acquiring the emission spectrum of the light generated by irradiation of the laser beam and analyzing the sample held in the sample holding area.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】レーザ誘起プラズマ分光法により試料中の物質を分析するにあたって、前記試料に含まれるシリコンの含有濃度を高い精度で特定できるようにする。【解決手段】本発明のレーザ誘起分析装置１０は、試料が保持される試料保持領域１２を上面に有する、アルミニウム、鉄、銅、チタン、ニッケル、スズ、コバルト、亜鉛、マンガン、ベリリウム、金、及び白金から成る金属群から選ばれる１種類の金属、ステンレス綱、及び前記金属群から選ばれる１又は複数種類の金属を含む合金のいずれかを基材１１とするサンプルプレート１と、前記サンプルプレート１の前記試料保持領域に向けてレーザ光を照射する光源５と、前記レーザ光の照射により発生した光の発光スペクトルを取得して、前記試料保持領域に保持されている試料を分析する分析器８とを備える。【選択図】図１