MAGNETIC SENSOR

• Main Authors: ONODERA IKUTO, KAMENO MAKOTO, KASASHIMA TAMON
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 19.11.2020
• Subjects: ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

To provide a magnetic sensor with which it is possible to reduce a 1/f noise by mechanically displacing a magnetic path, without using a MEMS structure that requires a high temperature process.SOLUTION: A magnetic sensor according to the present invention comprises: a sensor chip 10 including a magneto-sensitive element R provided in a magnetic path formed by a magnetic gap G1 between external magnetic substances 21, 22; and a mechanical drive unit 30 having a piezoelectric layer 32 and a bypass magnetic substance layer 31. The mechanical drive unit 30 includes a fixed region 30A fixed to the external magnetic substance 22 and a displacement region 30B not fixed to the external magnetic substance 22, the displacement region 30B having an overlapping with a magnetic gap G1. According to the present invention, unlike a MEMS structure, a structure is adopted that the mechanical drive unit is fixed to the second external magnetic substance, so there is no need to carry out a high temperature process after forming the magneto-sensitive element.SELECTED DRAWING: Figure 7 【課題】高温プロセスが必要なＭＥＭＳ構造を用いることなく、磁路を機械的に変位させることによって１／ｆノイズを低減することが可能な磁気センサを提供する。【解決手段】本発明による磁気センサは、外部磁性体２１，２２との間の磁気ギャップＧ１によって形成される磁路上に設けられた感磁素子Ｒを含むセンサチップ１０と、圧電体層３２とバイパス磁性体層３１を有する機械的駆動部３０とを備える。機械的駆動部３０は、外部磁性体２２に固定された固定領域３０Ａと、外部磁性体２２に固定されていない変位領域３０Ｂとを有し、変位領域３０Ｂは、磁気ギャップＧ１と重なりを有している本発明によれば、ＭＥＭＳ構造とは異なり、機械的駆動部を第２の外部磁性体に固定した構造を有していることから、感磁素子を形成した後に高温プロセスを行う必要がない。【選択図】図７