BOARD CONVEYANCE SYSTEM AND BOARD CONVEYANCE METHOD

• Main Authors: OKUNE MITSUHIRO, INAMOTO YOSHIMASA, MIYAKE KIYOO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 05.11.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

To provide a board conveyance method for circumventing positional deviation of a board from a tray, due to residual air between a board and the tray, when a processing chamber is decompressed.SOLUTION: A board conveyance method includes a step of preparing a tray having multiple open holes, and a conveyance arm having multiple projection pins at the positions corresponding to respective open holes of the tray, a placement step of placing the board on the tray, a support step of supporting the board and the tray by means of the conveyance arm by approaching the conveyance arm and the tray placed above the arm so that each projection pin penetrates a corresponding open hole and supports the board, a conveyance step of conveying the board and the tray, supported by the conveyance arm, to the chamber, and a separation step of separating the conveyance arm and the tray so that the projection pins are separated from the board, and the tray supports the board for placing the tray at a prescribed position in the chamber.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】処理チャンバを減圧したとき、基板とトレイとの間に残留している空気により、トレイに対する基板の位置ずれを回避する基板搬送方法を提供する。【解決手段】基板搬送方法は、複数の貫通孔を有するトレイと、トレイの各貫通孔に対応する位置に複数の突出ピンを有する搬送アームとを準備する工程と、トレイに基板を載置する載置工程と、各突出ピンが対応する貫通孔を貫通して基板を支持するように搬送アームとアームの上方に配置されたトレイとを近づけて基板およびトレイを搬送アームで支持する支持工程と、搬送アームで支持された基板およびトレイをチャンバへ搬送する搬送工程と、トレイをチャンバ内の所定位置に載置するために、突出ピンが基板から離れて、トレイが基板を支持するように搬送アームとトレイとを離間させる離間工程と、を備える。【選択図】図１