DISPLACEMENT MAGNIFICATION DEVICE WITH VARIABLE AND ZERO THERMAL EXPANSION AND VARIABLE SHAPE SECONDARY MIRROR UNIT INCLUDING THE SAME

• Main Authors: ISHIMURA YASUO, SAKAMOTO HIRAKU, KASHIYAMA REO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 13.08.2020
• Subjects: CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

To provide a displacement magnification device capable of achieving low thermal expansion even with an actuator member with a high coefficient of thermal expansion and a variable shape secondary mirror unit including the same.SOLUTION: A bottom of a thermal expansion actuator 1' is fixed to a bottom base 2, and an upper part of the thermal expansion actuator 1' is fixed to an upper base 3. A pair of base arms 4a', 4b' is connected to the bottom base 2 at a bottom thereof via plate springs 5a, 5b and connected to the upper base 3 at a middle thereof via plate springs 6a, 6b. Each of resilient blocks 7a', 7b' is fixed at a predetermined angle to an upper part of each of base arms 4a', 4b', and a displacement output block 9 is provided between the resilient blocks 7a', 7b'. An apparent thermal expansion coefficient at a displacement output point of the displacement magnification device can be designed variably by designing a high thermal expansion coefficient γof a displacement magnification mechanism (4a', 4b'; 7a', 7b') and a high thermal expansion coefficient γof the thermal expansion actuator 1'.SELECTED DRAWING: Figure 3A 【課題】高熱膨張係数のアクチュエータ部材であっても、低熱膨張を実現できる変位拡大装置及びこれを用いた形状可変副鏡ユニットを提供する。【解決手段】熱膨張アクチュエータ１'の底部は底部ベース２に固定され、熱膨張アクチュエータ１'の上部は上部ベース３が固定されている。1対のベースアーム４ａ'、４ｂ'は、その底部において底部ベース２に板ばね５ａ、５ｂを介して接続され、その中間部において上部ベース３に板ばね６ａ、６ｂを介して接続されている。各ベースアーム４ａ'、４ｂ'の上部には所定角度で弾力性ブロック７ａ'、７ｂ'が固定され、弾力性ブロック７ａ'、７ｂ'の間に変位出力ブロック９が設けられている。変位拡大機構（４ａ'、４ｂ'；７ａ'、７ｂ'）の高熱膨張係数γ２、熱膨張アクチュエータ１'の高熱膨張係数γ１を設計することで変位拡大装置の変位出力点における見かけ上の熱膨張係数を可変に設計できる。【選択図】 図３Ａ