METHOD OF CONSTRUCTING PREDICTION MODEL OF PREDICTING NUMBER OF PLATABLE SUBSTRATES, METHOD OF CONSTRUCTING SELECTION MODEL FOR PREDICTING CONSTITUTING MEMBER THAT MAY CAUSE TROUBLE, AND METHOD OF PREDICTING NUMBER OF PLATABLE SUBSTRATES

• Main Authors: OISHI KUNIO, SHIMOYAMA TADASHI, KOIZUMI TATSUYA
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 18.06.2020
• Subjects: APPARATUS THEREFOR; CHEMISTRY; ELECTROFORMING; ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; METALLURGY; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS

To provide a method of constructing a prediction model capable of accurately predicting a period when maintenance of a substrate holder is required.SOLUTION: The method carries out plating of a plurality of substrates using a substrate holder 18, determines a total number of plated substrates by using the substrate holder 18 until a trouble occurs to the substrate holder 18, determines a number of first treatable substrates and a number of second treatable substrates, creates a first data set consisting of a combination of first condition data and the number of the first treatable substrates, wherein the first condition data represent conditions of constituting members of the substrate holder 18, creates a second data set consisting of a combination of second condition data and the number of the second treatable substrates, wherein the second condition data represent conditions of the constituting members, and optimizes parameters of the prediction model comprised of a neural network, using training data including the first data set and the second data set.SELECTED DRAWING: Figure 8 【課題】基板ホルダのメンテナンスが必要とされる時期を正確に予測することができる予測モデルを構築する方法を提供する。【解決手段】本方法は、基板ホルダ１８を用いて複数の基板をめっきし、基板ホルダ１８に不具合が起こるまで基板ホルダ１８を用いてめっきされた基板の総枚数を決定し、第１処理可能枚数および第２処理可能枚数を決定し、第１コンディションデータと、第１処理可能枚数との組み合わせからなる第１データセットを作成し、第１コンディションデータは、基板ホルダ１８の構成部材の状態を表しており、第２コンディションデータと、第２処理可能枚数との組み合わせからなる第２データセットを作成し、第２コンディションデータは、構成部材の状態を表しており、第１データセットと第２データセットを含む訓練データを用いて、ニューラルネットワークからなる予測モデルのパラメータを最適化する。【選択図】図８