ACOUSTIC WAVE DEVICE WITH MULTI-LAYER INTERDIGITAL TRANSDUCER ELECTRODE

• Main Authors: FUKUHARA HIRONORI, KODAMA TOMOYA, HAMAOKA YOSUKE, HAKAMATA SHINICHI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 09.04.2020
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

To provide an acoustic wave device, a filter, a module, a wireless communication device and a method for the same capable of reducing an insertion loss.SOLUTION: A surface acoustic wave device 10 includes a piezoelectric layer 12 and an interdigital transducer electrode 20 on the piezoelectric layer. The interdigital transducer electrode includes a first interdigital transducer electrode layer 14 positioned between a second interdigital transducer electrode layer 16 and the piezoelectric layer. The second interdigital transducer electrode layer contains aluminum and has a thickness of at least 200 nanometers. The surface acoustic wave device can include a temperature compensation layer 18. The temperature compensation layer is arranged such that the interdigital transducer electrode is positioned between the piezoelectric layer and at least a portion of the temperature compensation layer.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】挿入損失を低減した弾性波デバイス、フィルタ、モジュール、無線通信デバイス及びその方法を提供する。【解決手段】弾性表面波デバイス１０は、圧電層１２と当該圧電層上のインターディジタルトランスデューサ電極２０とを含む。インターディジタルトランスデューサ電極は、第２インターディジタルトランスデューサ電極層１６と圧電層との間に配置された第１インターディジタルトランスデューサ電極層１４を含む。第２インターディジタルトランスデューサ電極層は、アルミニウムを含み、厚さが少なくとも２００ナノメートルである。弾性表面波デバイスは、温度補償層１８を含んでよい。温度補償層は、インターディジタルトランスデューサ電極が、圧電層と温度補償層の少なくとも一部分との間に配置されるように配列される。【選択図】図１