LOAD PORT DEVICE, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE, AND CONTROL METHOD FOR IN-POD ATMOSPHERE

• Main Authors: KAGAYA TAKESHI, MIYAJIMA TOSHIHIKO, KOBAN TATSUHIRO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 06.02.2020
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

To prevent a contained object or a peripheral device from being damaged by a corrosive gas which is in a pod or flows out of the pod.SOLUTION: There is provided a load port device having: a placement part where a pod containing an object is placed; a frame part which is stood adjacently to the placement part, and in which a frame opening to which a main opening of the pod connects is formed; a door which can engage a lid of the pod closing the main opening, and opens/closes the frame opening and the lid; a door drive mechanism which drives the door; an internal gas exhaust unit which is provided below an inner side of the frame opening and discharges a gas from inside a minienvironment where the pod is connected through the main opening and the frame opening; and a corrosive gas detection sensor which is arranged between the frame opening and the internal gas exhaust unit or in an exhaust flow passage of the internal gas exhaust unit.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ポッド内にあるか、もしくはポッド内から流出する腐食性ガスによって、収容物や周辺装置がダメージを受けることを防止する。【解決手段】収容物を収容したポッドを載置する載置部と、前記載置部に隣接して立設されており、前記ポッドの主開口が接続するフレーム開口が形成されているフレーム部と、前記主開口を閉鎖する前記ポッドの蓋に係合可能であって、前記フレーム開口及び前記蓋を開閉するドアと、前記ドアを駆動するドア駆動機構と、前記フレーム開口の内部側の下方に設けられ、前記ポッドが前記主開口及び前記フレーム開口を介して接続されるミニエンバイロメント内からガスを排気する内側ガス排気ユニットと、前記フレーム開口から前記内側ガス排気ユニットまでの間又は前記内側ガス排気ユニットの排気流路内に配置される腐食性ガス検知センサーと、を有するロードポート装置。【選択図】 図１