CHUCK MEMBER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: UCHIDA YUZO, AMAHISA KENJI, MORIOKA TOSHIHITO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 26.12.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

To provide a chuck member capable of securing conductivity while improving endurance.SOLUTION: A chuck member 90 holds a substrate W to be processed with process liquid. The chuck member 90 includes a body part A1, and a coat layer A2. The body part A1 is composed of a composite material containing carbon fibers 82 and synthetic resin 80. The coat layer A2 covers at least a part of the surface part A100 of the body part A1. The carbon fibers 82 contain multiple fibre elements CF. The surface part A100 of the body part A1 has a surface 80a where the synthetic resin 80 is exposed, and multiple protrusions 20 where some of the multiple fibre elements CF are projected. The coat layer A2 is covering the surface 20b of at least some of the multiple protrusions 20.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】耐久性を向上しつつ導電性を確保できるチャック部材を提供する。【解決手段】チャック部材９０は、処理液によって処理される基板Ｗを保持する。チャック部材９０は、本体部Ａ１と、コート層Ａ２とを含む。本体部Ａ１は、炭素繊維８２と合成樹脂８０とを含む複合材料によって構成される。コート層Ａ２は、本体部Ａ１の表面部Ａ１００の少なくとも一部を覆う。炭素繊維８２は、複数の繊維要素ＣＦを含む。本体部Ａ１の表面部Ａ１００は、合成樹脂８０が露出した表面８０ａと、複数の繊維要素ＣＦのうちの一部の繊維要素ＣＦが突出した複数の突出部２０とを有する。コート層Ａ２は、複数の突出部２０のうちの少なくとも一部の突出部２０の表面２０ｂを覆っている。【選択図】図４