CATHODOLUMINESCENCE OPTICAL HUB

• Main Authors: MICHAEL BERTILSON, JOHN ANDREW HUNT, TOM WORSLEY
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 21.11.2019
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

To provide a device for collection, distribution, and analysis of cathodoluminescence (CL) and other optical signals in an electron microscope.SOLUTION: An optical hub that utilizes a linear translational folding mirror and is attached to an electron microscope is used to receive essentially-collimated light collected from a collector mirror and efficiently send the collected light to multiple optical analysis instruments. The linear translational folding mirror can provide precise alignment of an optical signal, and in one aspect of the invention, a portion of the collected light pattern can be used to be selected or scanned into an optical slit or an aperture. In one aspect, the optical hub includes an optical filter mechanism that can track movement of the folding mirror. In one aspect, the optical hub also controls positioning of the collector mirror in proximity to a specimen being analyzed.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】電子顕微鏡におけるカソードルミネッセンス（ＣＬ）および他の光信号の収集、分布、および分析のための装置を提供する。【解決手段】線形並進折り返しミラーを利用し、電子顕微鏡に取り付けられた光学ハブは、集光ミラーから収集された本質的にコリメートされた光を受け取り、収集された光を複数の光分析機器に効率的に送るために使用される。線形並進折り返しミラーは、光信号の精密な位置合わせを提供することができ、本発明の一態様では、収集された光パターンの一部を選択または走査して光学スリットまたはアパーチャ内に入れるために使用することができる。一態様では、光学ハブは、折り返しミラーの移動を追跡することができる光フィルタ機構を含む。一態様では、光学ハブはまた、分析されている標本に近接して集光ミラーの位置決めを制御する。【選択図】図２