GAS LASER DEVICE

• Main Authors: YASHIRO MASANORI, SUZUKI NATSUYUKI, WAKABAYASHI OSAMU, TSUSHIMA HIROAKI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 12.07.2018
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas purification system or a gas laser device which can reduce consumptions of gas.SOLUTION: The gas laser device comprises: a laser chamber connected to a first laser gas supply source, which supplies first laser gas containing halogen gas, through a first control valve and connected to a second laser gas supply source, which supplies second laser gas whose halogen gas concentrations are lower than the halogen gas concentrations of the first laser gas, through a second control valve; a purification column that removes a part of gas discharged from the laser chamber; a booster pump, connected to the laser chamber through a third control valve, which boosts gas passing through the purification column up to gas pressure higher than gas pressure for operating the laser chamber; and a control part that calculates a second quantity of the first laser gas to be supplied to the laser chamber on the basis of a first quantity of gas supplied to the laser chamber from the boost pump through the third control valve, and controls the first control valve on the basis of calculated results of the second quantity.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】ガスの消費量を低減することが可能なガス精製システム又はレーザ装置を提供する。【解決手段】ガスレーザ装置は、ハロゲンガスを含む第１のレーザガスを供給する第１のレーザガス供給源と第１の制御バルブを介して接続され、且つ、第１のレーザガスよりもハロゲンガス濃度の低い第２のレーザガスを供給する第２のレーザガス供給源と第２の制御バルブを介して接続された、レーザチャンバと、レーザチャンバから排出されたガスの１部を除去する精製カラムと、第３の制御バルブを介してレーザチャンバに接続され、精製カラムを通過したガスをレーザチャンバの運転ガス圧よりも高いガス圧に昇圧する昇圧ポンプと、昇圧ポンプから第３の制御バルブを介してレーザチャンバに供給されたガスの第１の量に基づいて、レーザチャンバに供給すべき第１のレーザガスの第２の量を計算し、第２の量の計算結果に基づいて、第１の制御バルブを制御する制御部とを備える。【選択図】図３