ION IMPLANTATION DEVICE AND MEASURING APPARATUS

• Main Author: ISHIBASHI KAZUHISA
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 28.09.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technology for accurately measuring an angle centroid of an ion beam.SOLUTION: An angle measuring apparatus 48 comprises: a slit 62 to which an ion beam is incident, a slit width direction of the slit 62 being a direction orthogonal with a beam advancing direction of an ion beam toward a wafer; and multiple electrode bodies 64a-64g provided at positions away from the slit 62 in the beam advancing direction and each including beam measuring surfaces 65a-65g that are exposed regions with respect to the ion beam passed through the slit 62. The multiple electrode bodies 64a-64g are disposed in such a manner that the beam measuring surfaces of the electrode bodies are arranged side by side successively in the slit width direction and that the beam measuring surfaces being adjacent in the slit width direction are displaced in the beam advancing direction.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】イオンビームの角度重心を正確に測定するための技術を提供する。【解決手段】角度測定装置４８は、イオンビームが入射するスリット６２であって、スリット幅方向がウェハに向かうイオンビームのビーム進行方向と直交する方向であるスリット６２と、スリット６２からビーム進行方向に離れた位置に設けられ、それぞれがスリット６２を通過したイオンビームに対して露出する領域であるビーム測定面６５ａ〜６５ｇを有する複数の電極体６４ａ〜６４ｇと、を備える。複数の電極体６４ａ〜６４ｇは、各電極体のビーム測定面がスリット幅方向に順に並べられ、スリット幅方向に隣接するビーム測定面がビーム進行方向にずれるように配置される。【選択図】図５