IMPURITY ANALYSIS SYSTEM AND IMPURITY ANALYSIS METHOD

• Main Authors: TAKIMOTO ISAO, MINAMIGATA HIDETAKA
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 07.09.2017
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an impurity analysis system capable of analyzing a plurality of impurities in an analysis object gas in series.SOLUTION: An impurity analysis system analyzes a plurality of impurities contained in an analysis object gas in series, and includes: a decompression unit for decompressing the analysis object gas; a moisture meter for measuring moisture content contained in the analysis object gas decompressed by the decompression unit; and a mass spectrometer for performing mass spectroscopy of the plurality of impurities contained in the analysis object gas decompressed by the decompression unit.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】分析対象ガス中の複数の不純物を連続的に分析可能な不純物分析システムを提供すること。【解決手段】分析対象ガスに含まれている複数の不純物を連続的に分析する不純物分析システムであって、前記分析対象ガスを減圧する減圧部と、前記減圧部により減圧された前記分析対象ガスに含まれている水分量を計測する水分計と、前記減圧部により減圧された前記分析対象ガスに含まれている複数の不純物の質量分析を行う質量分析計と、を有する不純物分析システム。【選択図】図１