SUBSTRATE SUCTION DEVICE

• Main Authors: NOZAKI MASAKAZU, HORII RYOGO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 08.06.2017
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably suck and fix even a warped substrate on a table.SOLUTION: A substrate suction device 1 is provided in a table 2 including a plurality of through-holes 2a. The device 1 comprises a flange member 4, a cylinder 5 and a coil spring 6. The flange member 4 comprises a housing part 10a insides, comprises a communication hole 10b that is communicated to a suction source, on a bottom of the housing part 10a and is fixed in such a manner that the housing part 10a is communicated to the through-hole 2a of the table 2. The cylinder 5 is housed in the through-hole 2a of the table 2 and the housing part 10a of the flange member 4, and freely movable upwards and downwards and includes a suction hole 5a insides. The coil spring 6 energizes the cylinder 5 upwards. The cylinder 5 is then formed in such a manner that a projection area in a view from a lower side does not exceed an area of an upper end face.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】たわみのある基板であっても、安定してテーブル上に吸着して固定することができるようにする。【解決手段】この基板吸着装置１は、複数の貫通孔２ａを有するテーブル２に設けられている。この装置１は、フランジ部材４と、シリンダ５と、コイルスプリング６と、を備えている。フランジ部材４は、収容部１０ａを内部に有するとともに、収容部１０ａの底部に吸着源に連通する連通孔１０ｂを有し、収容部１０ａがテーブル２の貫通孔２ａに連通するように固定される。シリンダ５は、テーブル２の貫通孔２ａ及びフランジ部材４の収容部１０ａに収容され、上下動自在であり、内部に吸引孔５ａを有する。コイルスプリング６は、シリンダ５を上方に付勢する。そして、シリンダ５は、下方から視た投影面積が上端面の面積を超えないように形成されている。【選択図】図１