ANALYZER

• Main Authors: YAMANE DAISUKE, KONISHI TOSHIFUMI, SAFU TERUAKI, EKI KAZUYA, MACHIDA KATSUYUKI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 30.03.2017
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; PHYSICS

PROBLEM TO BE SOLVED: To further easily analyze characteristics of a MEMS element having a fixed structure for limiting an operation range of a movable structure.SOLUTION: A first equivalent circuit data generation unit 101 generates, on the basis of input data input through operation of a data input unit 111 by a user, a model of a MEMS element having a movable structure, as first equivalent circuit data, described in a description language for describing an electrical behavior of an electronic circuit using a mathematical expression. A second equivalent circuit data generation unit 102 generates, on the basis of input data input through operation of the data input unit 111 by a user, a model of a fixed structure becoming a stop part for limiting an operation range of the movable structure, as second equivalent circuit data, described in the description language.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】可動構造体の動作範囲を制限するための固定構造体を備えるＭＥＭＳ素子の特性がより容易に解析できるようにする。【解決手段】第１等価回路データ生成部１０１は、ユーザによるデータ入力部１１１の操作により入力された入力データに従って、電子回路の電気的な振る舞いを数式で記述するための記述言語で、可動構造体を備えるＭＥＭＳ素子のモデルを記述した第１等価回路データとして生成する。第２等価回路データ生成部１０２は、ユーザによるデータ入力部１１１の操作により入力された入力データに従って、可動構造体の動作範囲を制限する停止部となる固定構造体のモデルを上記記述言語で記述した第２等価回路データとして生成する。【選択図】 図１