MANUFACTURING METHOD OF PIEZOELECTRIC ELEMENT, AND PIEZOELECTRIC DEVICE EMPLOYING THE PIEZOELECTRIC ELEMENT

• Main Authors: YOSHIOKA HIROKI, KODA NAOKI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 09.05.2016
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a piezoelectric element which is adaptive to downsizing and reduction in height, suppresses distortion in a contour of the piezoelectric element and also improves production efficiency, and a piezoelectric device employing the piezoelectric element.SOLUTION: A manufacturing method of a crystal element includes: a crystal element group formation step of forming a pattern comprised of a metal film M in which a number of crystal element regions 24 in a rectangular shape in a planar view are aligned in a matrix shape on front and rear principal surfaces of a crystal wafer 200; a groove formation step of forming a groove G1 relatively to a boundary line BL1; an etching step of performing etching after the groove formation step to make a central part on a principal surface of each of the crystal element regions thin to predetermined thickness, simultaneously penetrating the groove G1 and making a region of a boundary line BL2 thin, thereby forming a bridge part; and a division step of folding away the bridge part, thereby the wafer into individual crystal elements.SELECTED DRAWING: Figure 13 【課題】 小型化かつ低背化に対応するとともに圧電素子の外形の歪みを抑制し、生産効率にも優れた圧電素子の製造方法と、当該圧電素子を用いた圧電デバイスを提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係る水晶素子の製造方法は、水晶ウエハ２００の表裏主面に平面視矩形状の水晶素子領域２４がマトリクス状に多数整列した金属膜Ｍからなるパターンを形成する水晶素子群形成工程と、境界線ＢＬ１に対して溝Ｇ１を形成する溝形成工程と、溝形成工程後にエッチングを行い、各水晶素子領域の主面の中央部を所定の厚さまで薄肉化すると同時に溝Ｇ１を貫通させ、かつ境界線ＢＬ２の領域を薄肉化することによってブリッジ部を形成するエッチング工程と、前記ブリッジ部を折り取ることによって個体の水晶素子に分割する分割工程とを有している。【選択図】 図１３