MICROWAVE ION SOURCE, AND SHIELD MEMBER USED FOR THE SAME

• Main Author: MURATA HIROHIKO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 16.11.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce deposits produced in the plasma chamber of a microwave ion source.SOLUTION: A microwave ion source 10 includes a plasma chamber 11 having a microwave introduction window 16 for introducing a microwave into the internal space 12 of the plasma chamber 11 axially, a side wall 15 axially extending so as to surround the internal space 12, and an ion extraction opening 17 provided at a position axially facing the microwave introduction window 16, a liner 20 provided along the side wall 15 in the internal space 12, and a shield member 60 provided on the inside of the liner 20 in the inner space 12 for partitioning the inner space 12 to a plasma generating space 12a and a microwave shielding space 12b positioned at the outside of the plasma generating space 12a. The shield member 60 has a plurality of small holes 63 for communicating the plasma generating space 12a with the microwave shielding space 12b. 【課題】マイクロ波イオン源のプラズマ室内で発生する堆積物を低減する。【解決手段】マイクロ波イオン源１０は、プラズマ室１１の内部空間１２にマイクロ波を軸方向に導入するためのマイクロ波導入窓１６と、内部空間１２を囲むように軸方向に延在する側壁１５と、マイクロ波導入窓１６と軸方向に対向する位置に設けられるイオン引出開口１７と、を含むプラズマ室１１と、内部空間１２において側壁１５に沿って設けられるライナ２０と、内部空間１２においてライナ２０よりも内側に設けられ、内部空間１２をプラズマ生成空間１２ａとプラズマ生成空間１２ａの外側に位置するマイクロ波遮蔽空間１２ｂとに区画するシールド部材６０と、を備える。シールド部材６０は、プラズマ生成空間１２ａとマイクロ波遮蔽空間１２ｂとを連通させる複数の小孔６３を有する。【選択図】図１