IMAGING APPARATUS, IMAGE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD THEREOF

• Main Authors: ABE SATOSHI, INAMI TAKASHI, ARAKI NOBUHIRO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 06.07.2015
• Subjects: ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a clear microscopic image of a sample in a short time, by focusing on the sample with an irregular surface in a wide range or the inside structure of the sample.SOLUTION: A stage 11 moves a sample 12 placed, horizontally. A light beam coming from the sample 12 through an objective lens 13 passes through an imaging lens 32, and is split by a beam splitter 14 into an observation optical axis and a detection optical axis. The light beam coming from the sample 12 is imaged on an observation sensor 15 arranged on the observation optical axis and a focal point detection sensor 16 arranged on the detection optical axis. A focal point detection section 18 detects a focus state on the basis of image data to be obtained by the focal point detection sensor 16, for each sub-scanning, to determine a moving amount of the imaging lens 32. A focal point control section 19 moves the imaging lens 32 on the basis of the moving amount, for each sub-scanning, to correct a focal point position. An image processing section 31 performs image processing on image data to be obtained by the observation sensor 15, on the basis of the moving amount. 【課題】 表面に凹凸がある試料の広い範囲や試料内部の構造に焦点を合わせて、試料の鮮明な顕微鏡画像を短時間に撮影する。【解決手段】 ステージ11は、載置された試料12を水平方向に移動する。対物レンズ13を経た試料12からの光は、結像レンズ32を経て、ビームスプリッタ14により観察光軸および検出光軸に分岐される。観察光軸上に配置された観察センサ15と検出光軸に配置された焦点検出センサ16に、試料12からの光が結像する。焦点検出部18は、副走査ごとに、焦点検出センサ16によって得られる画像データに基づき合焦状態を検出して、結像レンズ32の移動量を決定する。焦点制御部19は、副走査ごとに、移動量に基づき結像レンズ32を移動して、焦点の位置を補正する。画像処理部31は、観察センサ15によって得られる画像データに、移動量に基づく画像処理を施す。【選択図】 図1