THREE-DIMENSIONAL MAPPING USING SCANNING ELECTRON MICROSCOPE IMAGES

• Main Authors: YAKOV WEINBERG, SCHWARZBAND ISHAI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 15.01.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a system for calculating a three-dimensional topographical model of a sample surface from plural SEM images of a sample captured by plural detectors for preventing distortion of a three-dimensional model when the sample surface is made up of multiple types of materials.SOLUTION: A method includes irradiating a surface of a sample, which is made up of multiple types of materials, with a beam of primary electrons. Emitted electrons emitted from the irradiated sample are detected using plural detectors that are positioned at respective different positions relative to the sample, so as to produce respective detector outputs. Calibration factors are computed to compensate for variations in emitted electron yield among the types of the materials, by identifying, for each material type, one or more horizontal regions on the surface that are made up of the material type, and computing a calibration factor for the material type based on at least one of the detector outputs in the identified horizontal regions. The calibration factors are applied to the detector outputs. A three-dimensional topographical model of the surface is calculated based on the detector outputs to which the calibration factors are applied. 【課題】試料表面が複数の材料種で構成される場合の３Ｄモデルのゆがみを防止するための、複数の検出器によって捕捉された試料の複数のＳＥＭ画像から試料表面の３次元トポグラフィカルモデルを計算する方法及びシステムを提供する。【解決手段】方法は、複数の材料種で構成される試料の表面を一次電子ビームで照射するステップを含む。それぞれの検出器出力を生成するように試料に対してそれぞれ異なる位置に配置された複数の検出器を用いて、照射された試料から放出される放出電子が検出される。各々の材料種に対して、その材料種で構成された表面上の１つ又はそれ以上の水平領域を識別し、識別された水平領域における少なくとも１つの検出器出力に基づいて材料種に対する較正係数を計算することによって、材料種間の放出電子収率の変動を補償するための較正係数が計算される。この較正係数が検出器出力に適用される。較正係数が適用された検出器出力に基づいて、表面の３次元トポグラフィカルモデルが計算される。【選択図】図１