DRIVE STAGE, AND COMPONENT MOUNTING DEVICE USING THE SAME

• Main Authors: YAMAGUCHI MASAKI, OKAMOTO YOSHINORI, NAGAO RIICHI
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 05.01.2015
• Subjects: CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; PRINTED CIRCUITS

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive stage capable of achieving life extension of a linear motor system.SOLUTION: A drive stage 10 comprises: a supporting body 200; and a beam 104 movably supported to the supporting body 200 in a Y-axis direction via a linear motor system 103 and a supporting plate 108. The linear motor system 103 has: a plurality of linear rails 110a and 110a fixed to the supporting body 200; and a linear motor 130 fixed to the supporting plate 108 moving on the linear rails 110a and 110a. A linear expansion coefficient of a material of the supporting body 200 is larger than that of a material of the supporting plate 108. 【課題】リニアモータシステムの長寿命化を実現可能な駆動ステージを提供する。【解決手段】駆動ステージ１０は、支持体２００と、該支持体２００に対してリニアモータシステム１０３と支持プレート１０８とを介在してＹ軸方向に移動可能に支持されたビーム１０４と、を備える。リニアモータシステム１０３は、支持体２００に固定された複数のリニアレール１１０ａ，１１０ａと、リニアレール１１０ａ，１１０ａ上を移動する支持プレート１０８に固定されたリニアモータ１３０と、を有する。支持体２００の材料の線膨張係数は、支持プレート１０８の材料の線膨張係数より大きい。【選択図】図１