THERMAL TREATMENT APPARATUS

• Main Authors: NISHIHARA HIDEO, MARIOS GABROS
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 11.12.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermal treatment apparatus capable of preventing chipping of a quartz window even when fastening torque for fastening a frame member to a chamber is strengthened.SOLUTION: A quartz chamber window 61 is mounted to a chamber 6 while interposing an O ring 68 therebetween. An aluminum frame 90 is fastened to a chamber side part 63 by a screw 96, such that a flange part 92 presses the chamber window 61 from an upper side. The flange part 92 of the aluminum frame 90 is not in contact with an edge part 61a of an upper surface of the chamber window 61, and the edge part 61a is opened. Therefore, even when fastening torque for fastening the aluminum frame 90 to the chamber 6 is strengthened, chipping does not occur in the edge part 61a of the chamber window 61. An end portion of the flange part 92 of the aluminum frame 90 is also separated from the upper surface of the chamber window 61, the risk of chipping the quartz chamber window 61 by the end portion of the flange part 92 is also eliminated. 【課題】フレーム部材をチャンバーに締結する締め付けトルクを強くしても石英窓の欠損を防止することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】チャンバー６には、Ｏリング６８を挟み込んで石英のチャンバー窓６１が装着される。アルミフレーム９０をネジ９６によってチャンバー側部６３に締結することにより、鍔部９２がチャンバー窓６１を上側から押さえつける。チャンバー窓６１の上面の端縁部６１ａには、アルミフレーム９０の鍔部９２が接触しておらず、当該端縁部６１ａは開放されている。このため、アルミフレーム９０をチャンバー６に締結する締め付けトルクを強くしても、チャンバー窓６１の端縁部６１ａに欠損が生じることは無い。また、アルミフレーム９０の鍔部９２の端部もチャンバー窓６１の上面から隔離しているため、鍔部９２の端部が石英のチャンバー窓６１に欠損を生じさせるおそれもない。【選択図】図６