METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC EL DEVICE, AND ORGANIC EL DEVICE

• Main Authors: SUNAKAWA HIROSHI, MORITA SHIGENORI, NAKAI TAKAHIRO
• Format: Patent
• Language: English; Japanese
• Published: 06.11.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an organic EL device, and an organic EL device, capable of suppressing separation caused by stress concentration to each layer end part and enhancing the reliability of the organic EL device, by alleviating the stress concentration even when using a roll-to-roll process.SOLUTION: A method of manufacturing an organic EL device includes: a substrate supply step of supplying a substrate 101 from a feeding roll to a take-up roll; a first electrode layer formation step of forming a first electrode layer 102 on the substrate 101; an organic EL layer formation step of forming the organic EL layer 103 on the first electrode layer 102; and a second electrode layer formation step of forming a second electrode layer 104 on the organic EL layer 103. The first electrode layer 102 is formed by using a shadow mask. At least a part of a lateral face of the first electrode layer 102 is a taper surface 102T inclined in an inner direction from a lower side to an upper side. An angle made by the taper surface 102T of the first electrode layer and the first electrode layer 102 side surface of the substrate 101 is 1° or less. 【課題】ロール・トゥー・ロールプロセスを用いた場合であっても、各層端部への応力集中を軽減することで、前記応力集中に起因するハガレを抑制して、有機ＥＬデバイスの信頼性を高めることができる有機ＥＬデバイスの製造方法および有機ＥＬデバイスを提供する。【解決手段】送り出しロールから巻き取りロールに基板１０１を供給する基板供給工程と、基板１０１上に第１電極層１０２を形成する第１電極層形成工程と、第１電極層１０２上に有機ＥＬ層１０３を形成する有機ＥＬ層形成工程と、有機ＥＬ層１０３上に第２電極層１０４を形成する第２電極層形成工程とを含み、第１電極層１０２は、シャドーマスクを用いて形成され、第１電極層１０２の側面の少なくとも一部が、下側から上側に向かって内部方向に傾斜するテーパー面１０２Ｔであって、第１電極層のテーパー面１０２Ｔと基板１０１の第１電極層１０２側の面とが形成する角度θが、１?以下である。【選択図】図１