DISPOSITIF MEMS OU NEMS A EMPILEMENT DE BUTEE

• Main Authors: LEHEE, GUILLAUME, JEROME, FRANCOIS, COLIN, MIKAEL, ONFROY, PHILIPPE, SERGE, CLAUDE
• Format: Patent
• Language: French
• Published: 21.05.2021
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING

L'invention concerne un dispositif MEMS ou NEMS de type capteur ou actionneur, doté d'un empilement de butée comprenant - une première couche plane comprenant une première électrode plane destinée à être à un premier potentiel électrique et une deuxième électrode plane destinée à être à un deuxième potentiel électrique distinct du premier potentiel, la première électrode plane étant mobile relativement à la deuxième électrode plane selon une première direction parallèle à la première couche plane, - une deuxième couche plane superposée à la première couche plane, isolée électriquement de la première couche plane par au moins une couche intermédiaire formée en matériau isolant, la deuxième couche plane comprenant un premier élément plan solidaire mécaniquement de la première électrode plane, et un 'deuxième élément plan solidaire mécaniquement de la deuxième électrode plane, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins un élément de butée s'étendant du premier élément plan ou du deuxième élément plan selon la première direction et faisant saillie par rapport audit élément plan dans la première direction, l'élément de butée qui s'étend à partir d'un des éléments plans étant destiné à être au même potentiel qu'une surface en regard appartenant à l'autre des éléments plans, l'élément de butée et les électrodes étant configurés pour que l'élément de butée vienne en contact avec la surface en regard et bloque le rapprochement des deux électrodes planes selon la première direction lors d'une sollicitation. The invention relates to a sensor-type or actuator-type MEMS or NEMS device provided with a stacked stop element comprising -a first flat layer having a first flat electrode intended to be at a first electric potential and a second flat electrode intended to be at a second electric potential different from the first potential, said first flat electrode being movable relative to the second flat electrode in a first direction parallel to the first flat layer, -a second flat layer placed on top of the first flat layer and electrically insulated from the first flat layer by at least one intermediate layer made of an insulating material, the second flat layer comprising a first flat element that is mechanically secured to the first flat electrode, and a second flat element that is mechanically secured to the second flat electrode, characterized in that it further comprises at least one stop element extending from the first flat element or the second flat element in the first direction and projecting from said flat element in the first direction, the stop element extending from one of the flat elements being intended to be at the same potential as an opposite surface belonging to the other flat element, and the stop element and the electrodes further being designed for the stop element to come into contact with the opposite surface and to stop the two flat electrodes from moving towards each other in the first direction when under stress.