PROCEDE DE FABRICATION D'UN COMPOSANT MICROMECANIQUE ET COMPOSANT OBTENU

• Main Authors: HEUCK FRIEDJOF, SCHMIDT BENJAMIN, HATTASS MIRKO, SCHELLING CHRISTOPH
• Format: Patent
• Language: French
• Published: 09.05.2014
• Subjects: MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TRANSPORTING

Procédé de fabrication d'un composant micromécanique consistant à : - dégager par mise en structure au moins partiellement une structure (42, 46) dans une couche de silicium monocristallin (10) par une gravure dépendant de l'orientation cristallographique, au côté supérieur (12) de la couche de silicium (10) pour l'orientation actuelle (110) de la couche de silicium (10). Pour dégager par structuration la structure (42, 46) en plus, on applique une étape de gravure indépendante de l'orientation cristallographique au côté supérieur (12) pour son orientation actuelle. A production process for a micromechanical component includes at least partially structuring at least one structure from at least one monocrystalline silicon layer by at least performing a crystal-orientation-dependent etching step on an upper side of the silicon layer with a given (110) surface orientation of the silicon layer. For the at least partial structuring of the at least one structure, at least one crystal-orientation-independent etching step is additionally performed on the upper side of the silicon layer with the given (110) surface orientation of the silicon layer.