SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE REGLABLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME

Système de détection de cathodoluminescence comprenant une optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux provenant d'un échantillon (éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement lumineux vers des moyens d'analyse, caractérisé en ce qu'...

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Main Authors MAZZUCCO STEFANO, TENCE MARCEL, KOCIAK MATHIEU, ZAGONEL LUIZ FERNANDO
Format Patent
LanguageFrench
Published 02.12.2011
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Summary:Système de détection de cathodoluminescence comprenant une optique de collection (112) collectant un rayonnement lumineux provenant d'un échantillon (éclairé par un faisceau de particules chargées et renvoyant ledit rayonnement lumineux vers des moyens d'analyse, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (606,614-618) de positionnement de ladite optique de collection (112) sur au moins une dimension.
Bibliography:Application Number: FR20100054108